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脱溶剤システム

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製品名 溶剤回収装置
適用分野 液晶パネル製造
製品概要

melts_02.jpg代表的な溶剤回収装置として、液晶パネル製造に使用される剥離液(Stripper)の回収装置に関して紹介します。

剥離液にはMEA,DMSO,BDG 等の水溶性有機溶剤の混合物が用いられるが使用済みの剥離液には剥離されたレジストと低沸点不純物を含む。

まず、前段で蒸発によりレジスト残滓と溶剤を分離し、後段の蒸留塔で低沸点不純物を分離し、塔底より溶剤を回収します。溶剤が高価であるため大きな回収メリットが生まれます。

製品特長
  1. 高い回収率
  2. 水分、炭酸イオン、金属イオンを極限まで抑えた高品質の溶剤を回収
  3. 省エネルギータイプ
  4. コンパクトな装置で全自動

 

  実績表

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